翻新设备

Novellus的翻新系统业务单元提供了一整套翻新工艺设备，通过现有Novellus渠道销售、服务。翻新系统的市场立足于200毫米铝晶圆工厂，生产180纳米及以上的器件。为满足这些需求，Novellus提供了以下的产品。

工艺	应用	产品
PECVD HDP CVD-W CMP Surface Prep	IMD, Passivation, TEOS STI, PSG, IMD Contact, Via Tungsten Polish Strip, Clean	Concept One® 200, SEQUEL® SPEED® Concept One W, ALTUS® 776, MV 200 PEP IRIDIA®, L3510, G2100

从Novellus系统购买一个翻新系统有很多好处，包括以下几点：

• 能确保设备是一个合格的正版Novellus产品
• 详尽的性能说明
• 符合安全标准
• 专业的系统知识和技术
• 专业化的服务和反馈
• 全面的备件知识及支持
• 不可转让的软件特许授权