诺发公司荣获台积电颁发的最佳产品奖

诺发公司的SABRE NExT铜电镀设备在满足下一代技术要求、更低成本和更高生产力等需求方面独占鳌头

 

2006年1月20日,中国上海—全球半导体行业的生产力和技术领先企业诺发系统有限公司(Novellus Systems, Inc., Nasdaq股票代码:NVLS )宣布,该公司的SABRE® NExT™铜电镀系统由于性能出众,被台湾积体电路制造股份有限公司(简称“台积电”)授予2005年度最佳产品奖。

“SABRE NExT技术领先、营运成本低、生产力高,是台积电300mm产量增长的重要因素之一,”台积电营运副总裁Wei_Jen Lo博士说。“我们非常感谢诺发公司致力于和台积电紧密合作,以满足我们在技术和生产力方面的需求。”

  “SABRE NExT能被台积电选中并授予2005年度最佳产品奖,我们感到非常荣幸,”位于俄勒冈州Tualatin的诺发公司电镀填充产品事业部的高级副总裁Tim Archer说。“台积电是引领90nm及以下工艺节点技术发展的领先企业之一。通过SABRE NExT,我们期望能继续为我们的客户提供可扩展的技术方案,以满足不断变化的市场需求。”

诺发公司从1998年开始向台积电提供SABRE系列产品,最初提供的是应用于200mm晶圆的130nm技术。诺发公司已经在全球安装了200多套SABRRE系统。


关于SABRE NExT:

SABRE NExT是先进的电化学淀积系统,它可以在宽度很窄和纵宽比很高的特征结构上成功地填充无孔洞的铜互连。它也是第一套专门为半导体器件批量生产而设计的铜电镀系统。从1997年开始,伴随SABRE系统的不断改进,铜双嵌入式解决方案已从250nm 技术顺利发展到65nm技术。通过将独家技术和先进化学反应结合,SABRE将在45nm节点大显身手。


诺发公司简介


诺发系统有限公司(Novellus Systems, Inc.)是一家标准普尔500指数公司,专门制造、销售和维修当今高级集成电路生产所需的薄膜淀积、表面处理和化学机械平坦化设备。我们的产品可以用尽可能低的成本大量生产领先的高级半导体器件。公司总部位于美国加利福尼亚州的圣何塞市,分支机构遍布美国,以及英国、法国、德国、荷兰、爱尔兰、意大利、以色列、印度、中国、日本、韩国、马来西亚、新加坡、中国台湾等国家和地区。本公司是美国纳斯达克股票交易所上市公司(Nasdaq股票代码:NVLS),并且是纳斯达克100指数(Nasdaq-100 Index®)的成员公司之一。有关诺发公司的更多信息,请访问公司网站 www.novellus.com


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